전남대학교 신소재공학과 석사과정에 재학 중인 박희경(사진‧지도교수 허재영)씨가 지난 11월 7~8일 광주에서 열린 제 11회 ICNST (International Conference on Nano Science and Nano Technology) 국제 학회에서 포스터 발표 부문 우수상을 수상했다.
박 씨는 「Effects of Water Purge Time on the Formation of Zinc Oxide Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition」이라는 제목의 논문을 발표해 주목을 받았다. 이 논문은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition)을 이용한 아연 산화물(ZnO) 박막 형성 과정에서 산화제로 쓰이는 물(water) 분자의 퍼지(purge) 시간에 따른 막 특성 변화에 대한 연구내용을 다뤘다.
원자층 증착법을 사용하는 경우 일반적으로 퍼지 시간이 증가하더라도 형성되는 박막의 특성에는 변화가 없는 것으로 알려져 왔다. 그러나 박씨는 이번 연구를 통해 일반적인 퍼지 시간보다 더 오랜 시간의 물 분자 퍼지 과정이 진행되는 동안 아연 산화물 내부의 변화가 일어나고 최종 형성된 박막의 특성이 달라짐을 전기적, 구조적, 광학적 분석을 통해 밝혀냈다. 또 이 논문을 통해 다양한 산화물 형성 과정에 있어서 퍼지 시간 조절에 따른 박막 특성 제어 가능성을 제시했다.
